[实用新型]一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置有效
申请号: | 201820463214.6 | 申请日: | 2018-04-03 |
公开(公告)号: | CN208362458U | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 蒋旭;田瑞雪 | 申请(专利权)人: | 江苏先丰纳米材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/455 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 孙昱 |
地址: | 211805 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置,包括化学气相沉积设备,收集装置和喷雾设备,其中收集装置设置于化学气相沉积设备出料口处;收集装置包括收集面、设置于收集面下方带动收集面进行位移的传动轮以及与传动轮连接的用于驱动传动轮的电机;喷雾设备包括雾化喷头,所述雾化喷头与收集面相对设置。本实用新型提供的装置和制备复合材料过程中巧妙地采用喷雾方式进行材料复合,最大程度保持了复合材料中各复合成分自身的特性。 | ||
搜索关键词: | 收集面 制备复合材料 收集装置 化学气相沉积设备 化学气相沉积 本实用新型 喷雾设备 雾化喷头 传动轮 驱动传动轮 材料复合 喷雾方式 相对设置 复合材料 出料口 电机 复合 | ||
【主权项】:
1.一种利用化学气相沉积制备复合材料的装置,其特征在于,包括化学气相沉积设备(1),收集装置(2)和喷雾设备(3),其中收集装置(2)设置于化学气相沉积设备(1)出料口处;收集装置(2)包括收集面(21)、设置于收集面(21)下方带动收集面(21)进行位移的传动轮(22)以及与传动轮(22)连接的用于驱动传动轮(22)的电机(23),收集面(21)与化学气相沉积设备(1)出料口相邻设置;喷雾设备(3)包括雾化喷头(31),所述雾化喷头(31)与收集面(21)相对设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏先丰纳米材料科技有限公司,未经江苏先丰纳米材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820463214.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种离子源以及镀膜装置
- 下一篇:环形单晶无机非金属部件的制作设备及飞轮
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的