[实用新型]一种PECVD设备腔体密封用紧固件

摘要

本实用新型公开了一种PECVD设备腔体密封用紧固件，用于PECVD设备腔体内紧固密封底座和波纹管法兰，紧固件包括与波纹管法兰密封连接的上部台阶孔，紧固件的上部台阶孔的底部垂直向上适度提升，直至紧固件的上部台阶孔的底部与所述波纹管法兰的底部及外围之间完全无缝对接。紧固件的上部台阶孔的底部垂直向上提升的高度为2mm，即紧固件的上部台阶孔的深度尺寸为7mm。经过对铜紧固件工艺结构尺寸的改进，使得其整体结构强度明显得到了提升，抗变形能力显著提高，进而不仅延长了其使用寿命，有效地增强PECVD设备腔体的高真空密封环境。

主权项

1.一种PECVD设备腔体密封用紧固件，用于PECVD设备腔体内紧固密封底座和波纹管法兰，所述紧固件包括与所述波纹管法兰密封连接的上部台阶孔，其特征在于，所述紧固件的上部台阶孔的底部垂直向上适度提升，直至所述紧固件的上部台阶孔的底部与所述波纹管法兰的底部及外围之间完全无缝对接。