[实用新型]一种超硬平面靶材的切割设备有效
| 申请号： | 201820425811.X | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN208100783U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 叶峰 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | B28D1/22 | 分类号： | B28D1/22;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超硬平面靶材的切割设备，包括机架、切割装置和装夹平台，切割装置和装夹平台分别固定于机架的上部，该切割装置设置有替换使用的钼线、驱动轮和若干引导轮，钼线顺次、循环且紧张缠绕于驱动轮和引导轮，其中择选的两个引导轮之间形成一切割部，用于切割夹放于装夹平台的平面靶材，驱动轮传动连接有一用于带动钼线作循环运动的驱动电机，驱动电机固定于机架或切割装置，钼线和平面靶材之间进行相对摩擦作用或者腐蚀作用，能够对质脆且硬度高的平面靶材进行顺滑的切割。 | ||
| 搜索关键词： | 切割装置 钼线 装夹平台 驱动轮 引导轮 靶材 平面靶材 切割设备 驱动电机 硬平面 切割 本实用新型 传动连接 相对摩擦 循环运动 顺滑 缠绕 替换 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种超硬平面靶材的切割设备，包括机架(1)、切割装置和装夹平台，切割装置和装夹平台分别固定于机架(1)的上部，其特征在于：切割装置设置有替换使用的钼线(2)、驱动轮(21)和若干引导轮(22)，钼线(2)顺次、循环且紧张缠绕于驱动轮(21)和引导轮(22)，其中择选的两个引导轮(22)之间形成一切割部，用于切割夹放于装夹平台的平面靶材(3)，驱动轮(21)传动连接有一用于带动钼线(2)作循环运动的驱动电机，驱动电机固定于机架(1)或切割装置。
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