[实用新型]一种超硬平面靶材的切割设备有效
| 申请号: | 201820425811.X | 申请日: | 2018-03-28 |
| 公开(公告)号: | CN208100783U | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
| 发明(设计)人: | 叶峰 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号: | B28D1/22 | 分类号: | B28D1/22;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
| 地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 切割装置 钼线 装夹平台 驱动轮 引导轮 靶材 平面靶材 切割设备 驱动电机 硬平面 切割 本实用新型 传动连接 相对摩擦 循环运动 顺滑 缠绕 替换 腐蚀 | ||
本实用新型公开了一种超硬平面靶材的切割设备,包括机架、切割装置和装夹平台,切割装置和装夹平台分别固定于机架的上部,该切割装置设置有替换使用的钼线、驱动轮和若干引导轮,钼线顺次、循环且紧张缠绕于驱动轮和引导轮,其中择选的两个引导轮之间形成一切割部,用于切割夹放于装夹平台的平面靶材,驱动轮传动连接有一用于带动钼线作循环运动的驱动电机,驱动电机固定于机架或切割装置,钼线和平面靶材之间进行相对摩擦作用或者腐蚀作用,能够对质脆且硬度高的平面靶材进行顺滑的切割。
技术领域
本实用新型涉及超硬平面靶材的加工设备的技术领域,尤其是涉及一种超硬平面靶材的切割设备。
背景技术
目前,超硬平面靶材,例如陶瓷平面靶等,其材质硬度很高,且其材质非常脆,在切割过程中容易破碎,特别容易崩边,目前没有专门应用于超硬平面靶材的切割加工设备,而是使用高硬度锯片进行切割,在切割加工的过程中,锯片损耗严重,加工精度低且容易造成靶材的浪费,良品率低,因此有必要予以改进。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种超硬平面靶材的切割设备,结构简单,切割过程不会损坏靶材,不会崩边且良品率高。
为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是,一种超硬平面靶材的切割设备利用钼线和平面靶材之间进行相对摩擦或腐蚀作用,能够平顺切割材质超硬平面靶材,操作简单,可以根据不同切割需求来进行切割工作,具有较高的通用性。
一种超硬平面靶材的切割设备,包括机架、切割装置和装夹平台,切割装置和装夹平台分别固定于机架的上部,该切割装置设置有替换使用的钼线、驱动轮和若干引导轮,钼线顺次、循环且紧张缠绕于驱动轮和引导轮,其中择选的两个引导轮之间形成一切割部,用于切割夹放于装夹平台的平面靶材,驱动轮传动连接有一用于带动钼线作循环运动的驱动电机,驱动电机固定于机架或切割装置,钼线和平面靶材之间进行相对摩擦作用或者腐蚀作用,能够对质脆且硬度高的平面靶材进行顺滑的切割。
在进一步的技术方案中,该切割装置包括一支柱、上拉线臂和下拉丝臂,支柱安装于该装夹平台的侧旁,下拉丝臂固定于支柱的下部,上拉线臂上下滑动安装于支柱的上部,至少在上拉线臂的前端和下拉丝臂的前端分别旋转安装一个该引导轮,分别位于上拉线臂的前端和位于下拉丝臂的前端的两个引导轮之间形成该切割部。
在进一步的技术方案中,该上拉线臂的前端和该下拉丝臂的前端分别延伸至该装夹平台之上,至少在上拉线臂的前端和下拉丝臂的前端分别旋转安装有一个该引导轮,并且安装于上拉线臂的前端的引导轮位于安装于下拉丝臂的前端的引导轮的正上方,两个引导轮之间形成该切割部。
在进一步的技术方案中,该装夹平台包括二轴调节机构和用于夹放平面靶材的靶材装夹部,二轴调节机构固定于该机架的上部,靶材装夹部连接于二轴调节机构,用于调节平面靶材切割位置。
该二轴调节机构包括第一滑板和第二滑板,第一滑板沿X轴方向滑动安装于该机架的上部,第二滑板沿Y轴方向滑动安装于第一滑板,第二滑板安装有该靶材装夹部,用于调节夹放于靶材装夹部的平面靶材的切割位置。
该机架的上部安装有第一丝杆调节机构,第一丝杆调节机构传动连接于第一滑板,第一丝杆调节机构包括第一转盘,第一转盘旋转安装于第一滑板,用于手动调节该靶材装夹部在X轴方向上的位置;第一滑板的上部安装有第二丝杆调节机构,第二丝杆调节机构传动连接于第二滑板,第二丝杆调节机构包括第二转盘,第二转盘旋转安装于第二滑板,用于手动调节靶材装夹部在Y轴方向上的位置。
该靶材装夹部包括连接架和夹具批士,连接架固定于该第二滑板的上部,并且连接架的上端穿过该切割部,夹具批士安装于连接架的上端的选定位置,用于夹放相应平面靶材。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司,未经东莞市欧莱溅射靶材有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820425811.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种陶瓷插芯全自动切断夹具
- 下一篇:一种能够切割出倾角的切割机





