[实用新型]一种超硬平面靶材的切割设备有效
| 申请号: | 201820425811.X | 申请日: | 2018-03-28 |
| 公开(公告)号: | CN208100783U | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
| 发明(设计)人: | 叶峰 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号: | B28D1/22 | 分类号: | B28D1/22;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
| 地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 切割装置 钼线 装夹平台 驱动轮 引导轮 靶材 平面靶材 切割设备 驱动电机 硬平面 切割 本实用新型 传动连接 相对摩擦 循环运动 顺滑 缠绕 替换 腐蚀 | ||
1.一种超硬平面靶材的切割设备,包括机架(1)、切割装置和装夹平台,切割装置和装夹平台分别固定于机架(1)的上部,其特征在于:切割装置设置有替换使用的钼线(2)、驱动轮(21)和若干引导轮(22),钼线(2)顺次、循环且紧张缠绕于驱动轮(21)和引导轮(22),其中择选的两个引导轮(22)之间形成一切割部,用于切割夹放于装夹平台的平面靶材(3),
驱动轮(21)传动连接有一用于带动钼线(2)作循环运动的驱动电机,驱动电机固定于机架(1)或切割装置。
2.根据权利要求1所述的一种超硬平面靶材的切割设备,其特征在于:所述切割装置包括一支柱(23)、上拉线臂(24)和下拉丝臂(25),支柱(23)安装于所述装夹平台的侧旁,下拉丝臂(25)固定于支柱(23)的下部,上拉线臂(24)上下滑动安装于支柱(23)的上部,
至少在上拉线臂(24)的前端和下拉丝臂(25)的前端分别旋转安装一个所述引导轮(22),
分别位于上拉线臂(24)的前端和位于下拉丝臂(25)的前端的两个引导轮(22)之间形成所述切割部。
3.根据权利要求2所述的一种超硬平面靶材的切割设备,其特征在于:所述装夹平台包括二轴调节机构和用于夹放平面靶材(3)的靶材装夹部,二轴调节机构固定于所述机架(1)的上部,靶材装夹部连接于二轴调节机构,用于调节平面靶材(3)切割位置。
4.根据权利要求3所述的一种超硬平面靶材的切割设备,其特征在于:所述二轴调节机构包括第一滑板(4)和第二滑板(5),第一滑板(4)沿X轴方向滑动安装于所述机架(1)的上部,第二滑板(5)沿Y轴方向滑动安装于第一滑板(4),第二滑板(5)安装有所述靶材装夹部,用于调节夹放于靶材装夹部的平面靶材(3)的切割位置。
5.根据权利要求4所述的一种超硬平面靶材的切割设备,其特征在于:所述机架(1)的上部安装有第一丝杆调节机构,第一丝杆调节机构传动连接于第一滑板(4),第一丝杆调节机构包括第一转盘(41),第一转盘(41)旋转安装于第一滑板(4),用于手动调节所述靶材装夹部在X轴方向上的位置;第一滑板(4)的上部安装有第二丝杆调节机构,第二丝杆调节机构传动连接于第二滑板(5),第二丝杆调节机构包括第二转盘(51),第二转盘(51)旋转安装于第二滑板(5),用于手动调节靶材装夹部在Y轴方向上的位置。
6.根据权利要求5所述的一种超硬平面靶材的切割设备,其特征在于:所述靶材装夹部包括连接架(32)和夹具批士(31),连接架(32)固定于所述第二滑板(5)的上部,并且连接架(32)的上端穿过所述切割部,夹具批士(31)安装于连接架(32)的上端的选定位置,用于夹放相应平面靶材(3)。
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