[实用新型]一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备

摘要

本实用新型涉及一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及绝缘治具，所述镀膜机内部设有真空腔体，真空腔体内壁装有真空腔体门板，真空腔体内还设有端头，端头上方竖直安装有靶材，靶材可旋转运动，所述端头与真空腔体门板之间设有绝缘块，绝缘块上方配设有用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具，所述绝缘治具与端头固定连接。与现有技术相比较，本实用新型公开的一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备通过在绝缘块上方配设用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具降低了靶材粉尘引起设备短路的概率，利于延长设备的使用寿命。此外，真空腔体门板上安装的向下倾斜的挡块驱使破裂后的玻璃碎片顺着倾斜的挡块下滑，避免镀膜过程玻璃碎片掉落在绝缘块上引起设备短路，提高了镀膜过程的安全性。

主权项

1.一种具有绝缘块保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及绝缘治具，所述镀膜机内部设有真空腔体，真空腔体内壁装有真空腔体门板（3），真空腔体内还设有端头（1），端头（1）上方竖直安装有靶材（2），靶材（2）可旋转运动，所述端头（1）与真空腔体门板（3）之间设有绝缘块（4），绝缘块（4）上方配设有用于阻挡靶材粉尘的绝缘治具，所述绝缘治具与端头（1）固定连接。