[实用新型]水冷装置及单晶硅生长炉

摘要

本实用新型提出一种水冷装置及单晶硅生长炉。本实用新型的水冷装置用于单晶硅生长炉，包括法兰盘、管道、内导流筒、外导流筒和导流筒夹层。法兰盘，设于炉体顶部，炉盖设于所述法兰盘上，法兰盘设有能与外界连通的进水口和出水口。管道设于炉内并沿竖直方向呈环状，以形成供单晶硅棒伸入的水套，管道的一端与进水口连通，另一端与出水口连通。内导流筒设于水套外部，内导流筒外部还设有外导流筒，内导流筒与外导流筒形成导流筒夹层。使用本实用新型的水冷装置，能提高单晶硅的生长速度，提高产量。

主权项

1.一种水冷装置，用于单晶硅生长炉，所述单晶硅生长炉包括炉盖、炉体和单晶炉热场，其特征在于，所述水冷装置包括：法兰盘，设于所述炉体顶部，所述炉盖设于所述法兰盘上，所述法兰盘设有能与外界连通的进水口和出水口；水套，设于所述炉内并沿竖直方向呈筒形，以形成供单晶硅棒伸入，所述水套内设有管道，所述管道的一端与所述进水口连通，另一端与所述出水口连通；内导流筒，设于所述水套外部，所述内导流筒外部还设有外导流筒，所述内导流筒架设于所述外导流筒，所述内导流筒与所述外导流筒形成导流筒夹层。