[实用新型]水冷装置及单晶硅生长炉有效
| 申请号： | 201820384023.0 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN208038587U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈家骏;邹凯;曾世铭;徐由兵;田栋东 | 申请（专利权）人： | 包头市山晟新能源有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄;王卫忠 |
| 地址： | 014100 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内导流筒 水冷装置 法兰盘 单晶硅生长炉 本实用新型 外导流筒 出水口 导流筒 进水口 夹层 水套 连通 单晶硅 单晶硅棒 炉体顶部 外界连通 外部 炉盖 炉内 伸入 竖直 生长 | ||
1.一种水冷装置，用于单晶硅生长炉，所述单晶硅生长炉包括炉盖、炉体和单晶炉热场，其特征在于，所述水冷装置包括：
法兰盘，设于所述炉体顶部，所述炉盖设于所述法兰盘上，所述法兰盘设有能与外界连通的进水口和出水口；
水套，设于所述炉内并沿竖直方向呈筒形，以形成供单晶硅棒伸入，所述水套内设有管道，所述管道的一端与所述进水口连通，另一端与所述出水口连通；
内导流筒，设于所述水套外部，所述内导流筒外部还设有外导流筒，所述内导流筒架设于所述外导流筒，所述内导流筒与所述外导流筒形成导流筒夹层。
2.根据权利要求1所述的水冷装置，其特征在于，所述水套为向所述炉体底部逐渐缩小的锥筒形结构。
3.根据权利要求1所述的水冷装置，其特征在于，所述内导流筒的上部分为竖直设置，中部分为向所述炉体底部逐渐缩小的锥筒形结构，且与所述水套的高度及角度相同，所述内导流筒的下部分与所述水套的内侧在同一直线上。
4.根据权利要求3所述的水冷装置，其特征在于，所述内导流筒的中部分与所述水套在竖直方向的倾斜角度为24度。
5.根据权利要求1所述的水冷装置，其特征在于，所述内导流筒与外导流筒的材质为石墨，所述导流筒夹层填充导热率低的材料。
6.根据权利要求5所述的水冷装置，其特征在于，所述导热率低的材料为石墨软毡或石墨固化毡。
7.根据权利要求1-3任一项所述的水冷装置，其特征在于，所述水冷装置还包括：
钼制薄壁筒，设置于所述水套上沿且与所述管道贴合；
两个水套固定架，设置于所述法兰盘与所述水套之间，与所述钼制薄壁筒贴合。
8.根据权利要求7所述的水冷装置，其特征在于，所述钼制薄壁筒沿竖直方向呈环状。
9.根据权利要求7所述的水冷装置，其特征在于，所述两个水套固定架焊接于所述法兰盘和所述水套。
10.一种单晶硅生长炉，包括炉体、炉盖和单晶炉热场，其特征在于，所述单晶硅生长炉还包括权利要求1-9任一项所述的水冷装置，所述外导流筒架设于所述单晶炉热场。
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