[实用新型]一种真空镀膜机的充气系统有效
| 申请号： | 201820360461.3 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN208151469U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 无锡奥芬光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜机的充气系统，进气管道一端连接大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔室，进气管道一端设置有进气口，另一端开设充气口；在靠近进气口一端的进气管道上设置一控制阀，所述进气管道通过充气口连接两根充气管，所述两根充气管呈交叉贯通的形式，在每根充气管上均匀排列设有多个规格相同的出气孔，所述出气孔沿着充气管的径向开设，所有出气孔在充气管的轴向依次布置。经充气口充入的高速气体喷射到真空腔室内交叉贯通的充气管内，充气管吸收充入气体的冲击性，同时改变充入气体在真空腔室内的扩散方式，充入气体经由充气管上规则分布的气孔，平缓均匀分散的从真空腔室顶部充入底部，减缓了充气系统的气体冲击性。 | ||
| 搜索关键词： | 充气管 真空镀膜机 充气系统 进气管道 充气口 出气孔 进气口 一端连接 真空腔室 真空腔 高速气体喷射 贯通 室内 本实用新型 规则分布 径向开设 均匀排列 气体冲击 一端设置 依次布置 冲击性 进气管 控制阀 轴向 扩散 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机的充气系统，其特征在于，包括真空腔室（3），进气管道（1）和充气管（4）；所述进气管道（1）一端连接大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔室（3），进气管道（1）一端设置有进气口（6），另一端开设充气口（5）；在靠近进气口（6）一端的进气管道（1）上设置一控制阀（2），所述进气管道通过充气口（5）连接两根充气管（4），所述两根充气管（4）呈交叉贯通的形式，在每根充气管上均匀排列设有多个规格相同的出气孔（7），所述出气孔（7）沿着充气管（4）的径向开设，所有出气孔（7）在充气管（4）的轴向依次布置。
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