[实用新型]一种研磨抛光机有效

专利信息
申请号: 201820338366.3 申请日: 2018-03-13
公开(公告)号: CN208246555U 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 王永成 申请(专利权)人: 上海致领半导体科技发展有限公司
主分类号: B24B37/00 分类号: B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34;B24B57/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201319 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种研磨抛光机,包括,机架;置于机架上的桌面;安装在桌面上的气缸支架;垂直安装在气缸支架上的至少3个气缸;每个气缸运动部安装的压力盘;压力盘下方的桌面上,安装有可被电机驱动旋转的研磨盘;在研磨盘的边缘处至少安装有3个导轮臂;导轮臂的两端各有一个导轮;安装在机架一侧的控制显示器;桌面下方机架内用于收集研磨液的抽屉。本实用新型通过在研磨抛光机机架内设置用于收集研磨废液的抽屉,解决现有研磨抛光机收集废液费事并且不安全的问题。
搜索关键词: 研磨抛光机 气缸支架 导轮臂 压力盘 研磨盘 废液 抽屉 桌面 本实用新型 控制显示器 垂直安装 电机驱动 气缸运动 研磨 边缘处 不安全 研磨液 导轮 气缸
【主权项】:
1.一种研磨抛光机,其特征在于,包括,机架;置于机架上的桌面;安装在桌面上的气缸支架;垂直安装在气缸支架上的至少3个气缸;每个气缸运动部安装的压力盘;压力盘下方的桌面上,安装有可被电机驱动旋转的研磨盘;在研磨盘的边缘处至少安装有3个导轮臂;导轮臂的两端各有一个导轮;安装在机架一侧的控制显示器;桌面下方机架内用于收集研磨液的抽屉。
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