[实用新型]一种新型喷水滚轴

摘要

本实用新型公开了一种新型喷水滚轴,所述喷水滚轴为内外双层结构，内层为通水管路，外层为滚轴主体，通水管路左端位于滚轴主体之内且与滚轴主体之间通过第一轴承连接，其右端位于滚轴主体外且与外接水阀连接；通水管路位于滚轴主体内的管道上设置有内喷淋孔，滚轴主体上设置有外喷淋孔；滚轴主体右端连接有齿轮，左端固定有连接轴，连接轴还与旋转滑轮通过第三轴承连接，齿轮与通水管路之间安装有第二轴承；工作时，齿轮与机器传动装置连接，旋转滑轮放置于卡槽内。本实用新型的喷水滚轴表面存在多处喷淋孔，工作时滚轴照常转动，水从喷淋孔喷出，达到同时输送硅片和润洗硅片下表面的目的，增强清洗效果。

主权项

1.一种新型喷水滚轴，其特征在于所述喷水滚轴为内外双层结构，内层为通水管路(1)，外层为滚轴主体(2)，所述通水管路(1)的左端位于滚轴主体之内且与滚轴主体的左端之间通过第一轴承(7)连接，通水管路(1)的右端位于滚轴主体外且与外接水阀连接；通水管路(1)位于滚轴主体内的管道上设置有内喷淋孔(3)，滚轴主体上设置有外喷淋孔(4)；滚轴主体(2)的左端与连接轴(9)右端固接，右端与齿轮(5)固接，齿轮(5)与通水管路(1)之间通过第二轴承(8)连接；连接轴(9)左端与旋转滑轮(6)通过第三轴承(10)连接；工作时，所述齿轮(5)与机器传动装置连接，旋转滑轮(6)放置于机器卡槽内；所述机器指多晶制绒清洗机或多晶刻蚀清洗机。