[实用新型]一种硅片加工用脱胶花篮有效

专利信息
申请号: 201820308152.1 申请日: 2018-03-07
公开(公告)号: CN208000896U 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: 朱运权 申请(专利权)人: 扬州市万达光电有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 陈娟
地址: 225600 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片加工用脱胶花篮,包括上放置仓,所述上放置仓的底部设有下放置仓,所述上放置仓的底部两侧对称固定有第一定位块,所述连接螺柱上位于第一定位块和第二定位块之间套设有两个定位螺套,所述上放置仓的顶部固定有圆管,且圆管内套设有丝杆,所述丝杆的底部位于上放置仓内套设有多个限位板,所述丝杆的两端位于圆管的外侧套设有紧固螺帽。本实用新型中,用于倚放硅片的限位板可在丝杆上滑动,从而可调节相邻两个限位板之间的距离,这样便可在每相邻的两个限位板之间存放不同数量的硅片,以达到定量存放的目的,而且比较方便拿取,其实用性更强。
搜索关键词: 放置仓 限位板 丝杆 定位块 圆管 本实用新型 硅片加工 脱胶花篮 硅片 内套 定位螺套 对称固定 紧固螺帽 连接螺柱 滑动 可调节 拿取 下放
【主权项】:
1.一种硅片加工用脱胶花篮,包括上放置仓(5),其特征在于,所述上放置仓(5)的底部设有下放置仓(10),所述上放置仓(5)的底部两侧对称固定有第一定位块(7),所述下放置仓(10)的顶部两侧对称固定有第二定位块(9),且第一定位块(7)和第二定位块(9)之间通过连接螺柱(6)连接,所述连接螺柱(6)上位于第一定位块(7)和第二定位块(9)之间套设有两个定位螺套(8),所述上放置仓(5)的顶部固定有圆管(1),且圆管(1)内套设有丝杆(3),所述丝杆(3)的底部位于上放置仓(5)内套设有多个限位板(2),所述丝杆(3)的两端位于圆管(1)的外侧套设有紧固螺帽(4)。
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