[实用新型]一种基片装夹装置

摘要

本实用新型公开了一种基片装夹装置，通过将设置压片第二端远离所述载板，使得所述压片第二端可通过旋转带动所述压片第一端与所述基片接触或分离，如此可避免在载板上打孔，压片本身即可实现压装基片，从而避免溅射材料穿过载板通孔溅射到基片侧围；本实用新型结构简单，应用方便。

主权项

1.一种基片装夹装置，所述基片装夹装置包括：设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；与所述基座轴连接的压片，且所述压片第一端用于将基片压装在所述载板上；其特征在于，所述压片第二端远离所述载板，且所述压片第二端可通过旋转带动所述压片第一端与所述基片接触或分离。