[实用新型]一种基片装夹装置

说明书

本实用新型公开了一种基片装夹装置，通过将设置压片第二端远离所述载板，使得所述压片第二端可通过旋转带动所述压片第一端与所述基片接触或分离，如此可避免在载板上打孔，压片本身即可实现压装基片，从而避免溅射材料穿过载板通孔溅射到基片侧围；本实用新型结构简单，应用方便。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池加工领域，尤其涉及一种基片装夹装置。

背景技术

物理气相沉积(PVD)是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。PVD基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀等。

在竞争越发激烈的半导体和太阳能生产中，为了实现规模效应以降低成本、增加产品的竞争力，越来越多的工厂在推动生产的自动化，而基片的装卸载就是其中很重要的一部分内容。

在通常的自动化应用中，有一种基片装夹机构，在载板上设置基座，在基座上通过扭簧轴连接一个活动的压片，压片下方的载板上设置通孔，驱动机构穿过该通孔与压片接触并驱动压片的端部打开，从而将基片夹持在压片的端部与载板之间；释放基片的过程反之。

在常规的应用中，该机构并没有问题，但是在一些特殊的镀膜材料和镀膜要求下，例如GaAs薄膜柔性太阳能电池片的生产中，严格要求了不允许绕镀的存在，尤其是该工艺中包含了某种很容易产生绕镀的材料，该材料溅射工艺时，溅射材料会通过通孔绕镀到基片周侧，因此此种结构无法使用。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种基片装夹装置，以解决现有技术中的问题，避免溅射材料绕镀到基片周侧。

本实用新型提供了一种基片装夹装置，所述基片装夹装置包括：

设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；

与所述基座轴连接的压片，且所述压片第一端用于将基片压装在所述载板上；

所述压片第二端远离所述载板，且所述压片第二端可通过旋转带动所述压片第一端与所述基片接触或分离。

作为优选，所述压片第二端包括弧形凸部，当所述压片第一端与基片接触时，所述弧形凸部向远离载板的一侧偏曲。

作为优选，所述基片装夹装置还包括：驱动机构，所述驱动机构设置在载板的靠近基座的一侧，所述驱动机构用于驱动所述压片第二端旋转。

作为优选，所述驱动机构包括连接的动力机与推动杆，所述推动杆与所述压片第二端接触且用于驱动所述压片旋转。

作为优选，所述驱动机构还包括转接板，所述动力机通过所述转接板与所述推动杆连接，且所述转接板可与多个推动杆连接。

作为优选，所述推动杆上与所述压片第二端接触的一端为圆弧形。

作为优选，所述压片第一端与基片的接触处设置有压装凸部，所述压装凸部用于与基片接触，并将所述基片压装在所述载板上。

作为优选，所述压片第一端与基片的接触处设置有压装凹台，所述压装凹台用于与基片接触，并将所述基片压装在所述载板上。

作为优选，所述压片与所述基座之间还设置有扭簧。

本实用新型提供的基片装夹装置，通过将设置压片第二端远离所述载板，使得所述压片第二端可通过旋转带动所述压片第一端与所述基片接触或分离，如此可避免在载板上打孔，压片本身即可实现压装基片，从而避免溅射材料穿过载板通孔溅射到基片侧围；本实用新型结构简单，应用方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的基片装夹装置的结构示意图；