[实用新型]一种来料花篮定位旋转移栽机构有效
| 申请号： | 201820250319.3 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN207752983U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 俞宗祥 | 申请（专利权）人： | 苏州卓樱自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种结构紧凑、生产成本低的来料花篮定位旋转移栽机构，包括基座移动机构及设置在其上的平面旋转机构，平面旋转机构上设有翻转机构，翻转机构包括硅片花篮夹紧机构；基座移动机构包括基座，基座上转动设有丝杠以及驱动丝杠的丝杠伺服电机，丝杠上套设有活动块，平面旋转机构包括设置在基座上的滑动座，滑动座与活动块相连接，滑动座上设有出力轴垂直设置的旋转气缸；翻转机构包括设置在旋转气缸的出力轴上的翻转基座，翻转基座上设有翻转动力装置，硅片花篮夹紧机构包括连接在翻转动力装置的出力轴上的夹具基座，夹具基座上设有放置硅片花篮的框架，框架上设有压紧气缸，压紧气缸的活塞杆端部设有压紧硅片花篮的压紧块。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片花篮 平面旋转机构 翻转机构 出力轴 滑动座 翻转动力装置 定位旋转 翻转基座 基座移动 夹紧机构 夹具基座 旋转气缸 压紧气缸 活动块 丝杠 移栽 花篮 丝杠伺服电机 本实用新型 活塞杆端部 生产成本低 垂直设置 驱动丝杠 压紧块 上套 压紧 转动 | ||
【主权项】：
1.一种来料花篮定位旋转移栽机构，其特征在于：包括基座移动机构及设置在其上的平面旋转机构，平面旋转机构上设有翻转机构，翻转机构包括硅片花篮夹紧机构；基座移动机构包括基座，基座上转动设有丝杠以及驱动丝杠的丝杠伺服电机，丝杠上套设有活动块，平面旋转机构包括设置在基座上的滑动座，滑动座与活动块相连接，滑动座上设有出力轴垂直设置的旋转气缸；翻转机构包括设置在旋转气缸的出力轴上的翻转基座，翻转基座上设有出力轴水平设置的翻转动力装置，硅片花篮夹紧机构包括连接在翻转动力装置的出力轴上的夹具基座，夹具基座上设有放置硅片花篮的框架，框架上设有压紧气缸，压紧气缸的活塞杆端部设有压紧硅片花篮的压紧块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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