[实用新型]一种高效真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201820206433.6 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN208008881U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 黄正勇;周文忠;黄国辉;黄建朝;吴迪 | 申请（专利权）人： | 东莞市宝钛涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓，所述镀膜仓的底部设有支撑架，所述镀膜仓的外部侧壁上安装有真空泵，所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通，所述镀膜仓的内部底端安装有坩埚，所述坩埚开口朝上，所述坩埚内部内部安装有电热管，所述坩埚上方镀膜仓内部水平设有冷却盒，所述冷却盒的底部开设有若干个通孔，所述冷却盒顶部开设有多个通风口，所述通风口内部均安装有风扇，所述冷却盒顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆，两根所述支撑杆共同连接在镀膜仓顶部内壁上，两根所述支撑杆相邻的一侧对称设有夹紧装置。本实用新型，结构简单，操作方便，镀膜速度快，效率高，同时有效的提高了镀膜的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜仓 冷却盒 坩埚 支撑杆 本实用新型 通风口 镀膜装置 高效真空 真空泵 镀膜 垂直连接 顶部内壁 镀膜技术 夹紧装置 开口朝上 内部安装 内部连通 水平设有 外部侧壁 抽气口 电热管 均匀度 支撑架 风扇 底端 通孔 对称 | ||
【主权项】：
1.一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓(1)，所述镀膜仓(1)的底部设有支撑架(16)，所述镀膜仓(1)的外部侧壁上安装有真空泵(17)，所述真空泵(17)的抽气口与镀膜仓(1)内部连通，其特征在于，所述镀膜仓(1)的内部底端安装有坩埚(14)，所述坩埚(14)开口朝上，所述坩埚(14)内部安装有电热管(15)，所述坩埚(14)上方镀膜仓(1)内部水平设有冷却盒(10)，所述冷却盒(10)的底部开设有若干个通孔(13)，所述冷却盒(10)顶部开设有多个通风口(11)，所述通风口(11)内部均安装有风扇(12)，所述冷却盒(10)顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆(8)，两根所述支撑杆(8)共同连接在镀膜仓(1)顶部内壁上，两根所述支撑杆(8)相邻的一侧对称设有夹紧装置，所述夹紧装置包括固定板(6)，所述固定板(6)与支撑杆(8)之间相互平行，所述固定板(6)靠近支撑杆(8)的一侧垂直连接有转轴(4)，所述转轴(4)连接在轴承(9)内部，所述轴承(9)安装在支撑杆(8)上，所述固定板(6)远离转轴(4)的一侧竖直对称开设有两条滑槽(19)，所述滑槽(19)内部均滑动安装有滑块(18)，所述滑块(18)上固定连接有夹板(7)，在所述滑槽(19)内部均安装有弹簧(5)，所述弹簧(5)的两端分别固定连接在滑槽(19)端部与滑块(18)上，在所述转轴(4)一端贯穿轴承(9)连接有驱动装置。
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