[实用新型]一种高效真空镀膜装置

说明书

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓，所述镀膜仓的底部设有支撑架，所述镀膜仓的外部侧壁上安装有真空泵，所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通，所述镀膜仓的内部底端安装有坩埚，所述坩埚开口朝上，所述坩埚内部内部安装有电热管，所述坩埚上方镀膜仓内部水平设有冷却盒，所述冷却盒的底部开设有若干个通孔，所述冷却盒顶部开设有多个通风口，所述通风口内部均安装有风扇，所述冷却盒顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆，两根所述支撑杆共同连接在镀膜仓顶部内壁上，两根所述支撑杆相邻的一侧对称设有夹紧装置。本实用新型，结构简单，操作方便，镀膜速度快，效率高，同时有效的提高了镀膜的均匀度。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种高效真空镀膜装置。

背景技术

在现有的技术中真空镀膜腔的底部设置一个坩埚，对其加热后产生离子或原子蒸汽流，由于靠近坩埚的位置蒸汽流中的离子密度较大，远离坩埚的位置蒸汽流中离子的密度较小，因此在整个镀膜腔中造成离子分布不均匀，极大的影响了对应基片的镀膜均匀度。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在镀膜均匀度差的缺点，而提出的一种高效真空镀膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓，所述镀膜仓的底部设有支撑架，所述镀膜仓的外部侧壁上安装有真空泵，所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通，所述镀膜仓的内部底端安装有坩埚，所述坩埚开口朝上，所述坩埚内部安装有电热管，所述坩埚上方镀膜仓内部水平设有冷却盒，所述冷却盒的底部开设有若干个通孔，所述冷却盒顶部开设有多个通风口，所述通风口内部均安装有风扇，所述冷却盒顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆，两根所述支撑杆共同连接在镀膜仓顶部内壁上，两根所述支撑杆相邻的一侧对称设有夹紧装置，所述夹紧装置包括固定板，所述固定板与支撑杆之间相互平行，所述固定板靠近支撑杆的一侧垂直连接有转轴，所述转轴连接在轴承内部，所述轴承安装在支撑杆上，所述固定板远离转轴的一侧竖直对称开设有两条滑槽，所述滑槽内部均滑动安装有滑块，所述滑块上固定连接有夹板，在所述滑槽内部均安装有弹簧，所述弹簧的两端分别固定连接在滑槽端部与滑块上，在所述转轴一端贯穿轴承连接有驱动装置。

优选的，所述驱动装置包括第一皮带轮，所述第一皮带轮固定连接在转轴端部，所述第一皮带轮上方设有电机，所述电机固定安装在电机架内部，所述电机架固定连接在镀膜仓内部顶端，在所述电机的输出轴上连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮之间通过皮带连接。

优选的，所述镀膜仓的一侧铰接有密封盖。

优选的，所述固定板上的两块夹板相互靠近的一侧均开设有限位卡槽。

本实用新型提出的一种高效真空镀膜装置，有益效果在于：将需要镀膜的基片通过夹紧装置固定在镀膜仓内部，驱动装置带动基片旋转，通过真空泵将镀膜仓内部的空气抽出，通过电热管给坩埚提供热量，坩埚发热蒸发，从而蒸汽通过通孔进入冷却盒内部冷区，再通过风扇将冷却盒内部的蒸汽送到基片上即可。本实用新型，结构简单，操作方便，镀膜速度快，效率高，同时有效的提高了镀膜的均匀度。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种高效真空镀膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种高效真空镀膜装置的夹紧装置结构示意图；

图3为图1中A处放大结构示意图。

图中：镀膜仓1、电机2、电机架3、转轴4、弹簧5、固定板6、夹板7、支撑杆8、轴承9、冷却盒10、通风口11、风扇12、通孔13、坩埚14、电热管15、支撑架16、真空泵17、滑块18、滑槽19、第一皮带轮20、第二皮带轮21、密封盖22、限位卡槽23。

具体实施方式