[实用新型]一种焰熔法生长晶体的燃烧器有效

专利信息
申请号: 201820199841.3 申请日: 2018-02-05
公开(公告)号: CN207998651U 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: 周文平;毕孝国;刘旭东;蔡云平;唐坚;孙旭东 申请(专利权)人: 沈阳工程学院
主分类号: C30B11/10 分类号: C30B11/10;C30B29/16
代理公司: 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241 代理人: 屈芳
地址: 110136 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型一种焰熔法生长晶体的燃烧器,包括:锥形送料口、中心管、氢气入口、外部氧气入口、氢气环形管道、外部氧气环形管道、晶体生长室以及晶体生长基座,锥形送料口与中心管连接,粉体和氧气从锥形送料口送入中心管,中心管外设置氢气环形管道,氢气环形管道通过与其连接的氢气入口充入氢气,氢气环形管道外设置外部氧气环形管道,外部氧气环形管道通过其连接的外部氧气入口充入氧气,中心管、氢气环形管道、外部氧气环形管道的末端均与晶体生长室相连通,生长室内设置晶体生长基座。本实用新型的优点能够大幅度减少燃烧器的径向和轴向的压力分布,使氧气径向分布更加均匀,减少晶体氧空位,大幅提高晶体生长的尺寸和均匀性,提高晶体质量。
搜索关键词: 环形管道 氢气 氧气 中心管 锥形送料口 晶体生长 燃烧器 外部氧气入口 本实用新型 晶体生长室 外部 氢气入口 晶体的 焰熔法 生长 径向分布 压力分布 晶体氧 均匀性 空位 粉体 轴向 送入 室内
【主权项】:
1.一种焰熔法生长晶体的燃烧器,其特征在于,包括:锥形送料口、中心管、氢气入口、外部氧气入口、氢气环形管道、外部氧气环形管道、晶体生长室以及晶体生长基座,所述锥形送料口与中心管连接,粉体和氧气从锥形送料口送入中心管,所述中心管外同轴设置氢气环形管道,氢气环形管道通过与其连接的氢气入口充入氢气,氢气环形管道外同轴设置外部氧气环形管道,外部氧气环形管道通过与其连接的外部氧气入口充入氧气,所述中心管、氢气环形管道、外部氧气环形管道均与所述晶体生长室相连通,生长室内设置晶体生长基座。
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