[实用新型]用于由一种或多种液相先驱体生成气溶胶的装置

摘要

本实用新型涉及用于由一种或多种液相先驱体生成气溶胶的装置(1)。该装置(1)包括沉积室(100)、雾化源(10)和用于液体的储液器(20)，其中该储液器(20)设置于沉积室(100)中。该储液器(20)包括从沉积室(100)的侧壁(102)向上延伸至沉积空间(200)中的倾斜外壁(21)，使得该储液器(20)形成于侧壁(102)和倾斜外壁(21)之间；并且沉积室(100)中设置有用于从沉积空间(200)中排出多余气溶胶的气溶胶出口(30)。根据本实用新型的装置，无论所涉及的沉积室的尺寸如何，使得气溶胶沉积都是均匀的。并且，由装置生成的气溶胶可以有效地分布，并使得基底的表面上的涂层均匀。

主权项

1.一种用于由一种或多种液相先驱体生成气溶胶的装置(1)，其特征在于，所述装置(1)包括：沉积室(100)，所述沉积室包括顶壁(101)和自所述顶壁延伸的至少一个侧壁(102)，并且所述沉积室形成沉积空间(200)；雾化源(10)，所述雾化源设置在所述沉积室(100)中，用于雾化液相先驱体；用于液体的储液器(20)，所述储液器(20)包括倾斜外壁(21)，所述倾斜外壁从所述沉积室(100)的所述侧壁(102)向上延伸至所述沉积空间(200)中，使得所述储液器(20)形成于所述侧壁(102)和所述倾斜外壁(21)之间；以及气溶胶出口(30)，所述气溶胶出口设置在所述沉积室(100)中，用于从所述沉积空间(200)中排出多余的气溶胶。