[实用新型]用于由一种或多种液相先驱体生成气溶胶的装置

权利要求书

1.一种用于由一种或多种液相先驱体生成气溶胶的装置(1)，其特征在于，所述装置(1)包括：

沉积室(100)，所述沉积室包括顶壁(101)和自所述顶壁延伸的至少一个侧壁(102)，并且所述沉积室形成沉积空间(200)；

雾化源(10)，所述雾化源设置在所述沉积室(100)中，用于雾化液相先驱体；

用于液体的储液器(20)，所述储液器(20)包括倾斜外壁(21)，所述倾斜外壁从所述沉积室(100)的所述侧壁(102)向上延伸至所述沉积空间(200)中，使得所述储液器(20)形成于所述侧壁(102)和所述倾斜外壁(21)之间；以及

气溶胶出口(30)，所述气溶胶出口设置在所述沉积室(100)中，用于从所述沉积空间(200)中排出多余的气溶胶。

2.根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，所述雾化源(10)包括：第一雾化器(11)，所述第一雾化器具有用于生成第一气溶胶射流的第一排出口(11a)；第二雾化器(12)，所述第二雾化器具有用于生成第二气溶胶射流的第二排出口(12a)；以及雾化区带(13)，所述雾化区带在所述第一排出口(11a)和所述第二排出口(12a)之间延伸，所述第一雾化器(11)和所述第二雾化器(12)形成雾化器对，使得所述第一雾化器(11)的所述第一排出口(11a)和所述第二雾化器(12)的所述第二排出口(12a)朝向彼此对齐，进而使得经所述第一排出口(11a)和所述第二排出口(12a)排出的所述第一气溶胶射流和所述第二气溶胶射流互相碰撞以在所述雾化区带(13)中生成气溶胶平面(14)，并且所述储液器(20)在所述沉积室(100)中设置于所述雾化源(10)的下方，使得所述储液器(20)在竖向上位于所述雾化区带(13)的正下方。

3.根据权利要求2所述的装置(1)，其特征在于，所述气溶胶出口(30)设置成在所述沉积室(100)的竖向方向上高于所述第一雾化器(11)的所述第一排出口(11a)和所述第二雾化器(12)的所述第二排出口(12a)。

4.根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，所述沉积室(100)包括彼此相对的第一侧壁(102a)和第二侧壁(102b)，所述储液器(20)的所述倾斜外壁(21)自所述第一侧壁(102a)延伸，并且所述气溶胶出口(30)在所述第二侧壁(102b)上沿所述沉积室(100)的竖向方向设置为高于所述储液器(20)的所述倾斜外壁(21)。

5.根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，所述气溶胶出口(30)设置于所述沉积室(100)的所述顶壁(101)上。

6.根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，所述沉积室(100)包括用于基底(2)进入所述沉积室(100)的第一开口(40)和用于所述基底(2)离开所述沉积室(100)的第二开口(41)，所述基底(2)在所述第一开口(40)和所述第二开口(41)之间的区域中以通过所述雾化源(10)生成的所述气溶胶进行涂覆。

7.根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，所述储液器(20)的所述倾斜外壁(21)具有边缘尖锐的末端(22)。

8.根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，所述沉积室(100)的所述顶壁(101)包括上壁部(101a)和下壁部(101b)，所述上壁部(101a)和所述下壁部(101b)通过在所述上壁部(101a)和所述下壁部(101b)之间延伸的倾斜壁部(101c)连接在一起。

9.根据权利要求8所述的装置(1)，其特征在于，所述雾化源(10)连接至所述下壁部(101b)并且从所述下壁部(101b)向下延伸至所述沉积空间(200)。