[实用新型]一种多层台阶硅模板制作装置有效
| 申请号： | 201820137877.9 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN207913807U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 潘尧 | 申请（专利权）人： | 苏州锐材半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 陆晓鹰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多层台阶硅模板制作装置，包括一基座，该基座底部设有硅胶垫，所述基座上端设有第一C型座，该第一C型座底部设有滑轨，所述滑轨上设有一基于伺服控制的电动伺服滑动块，所述电动伺服滑动块底部连接有一基于伺服控制的电动伸缩装置，所述电动伸缩装置底部设有刻蚀装置，所述第一C型座上还设有一可对基座上端进行纵向压迫的转动式压迫装置；本实用新型采用刻蚀装置以及压迫贴合装置，可较为简单方便地进行多个阶段的刻蚀工作，同时使多个结构贴合平整，可较为方便地去除残胶，同时结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 电动伸缩装置 本实用新型 电动伺服 多层台阶 刻蚀装置 伺服控制 制作装置 上端 硅模板 滑动块 滑轨 底部连接 贴合装置 压迫装置 纵向压迫 硅胶垫 转动式 残胶 刻蚀 贴合 去除 平整 压迫 | ||
【主权项】：
1.一种多层台阶硅模板制作装置，包括一基座，该基座底部设有硅胶垫，所述基座上端设有第一C型座，该第一C型座底部设有滑轨，所述滑轨上设有一基于伺服控制的电动伺服滑动块，所述电动伺服滑动块底部连接有一基于伺服控制的电动伸缩装置，所述电动伸缩装置底部设有刻蚀装置，其特征在于，所述第一C型座上还设有一可对基座上端进行纵向压迫的转动式压迫装置。
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