[实用新型]一种便于散热的光电探测器

摘要

本实用新型属于光电探测技术领域，具体为一种便于散热的光电探测器，包括基底，其特征在于：基底上设置有导热层，所述的导热层为双层复合结构，包括第一导热层和第二导热层，所述的第一导热层为石墨烯，第一导热层厚度为50 nm，所述的第二导热层设置在第一导热层之上，第二导热层为铝箔，第二导热层的厚度为500 nm，所述的第二导热层表面的均方根粗糙度小于3 nm，第二导热层同时作为光电探测器的反射阳极，所述的第二导热层上设置有阳极修饰层，所述的阳极修饰层上设置有光敏层，所述的光敏层上设置有阴极修饰层，所述的阴极修饰层上设置有透明阴极层，所述的透明阴极层为双层复合结构，包括依次层叠的第一阴极层和第二阴极层。

主权项

1.一种便于散热的光电探测器，包括基底(1)，其特征在于：基底(1)上设置有导热层（2），所述的导热层（2）为双层复合结构，包括第一导热层（201）和第二导热层（202），所述的第一导热层（201）为石墨烯，第一导热层（201）厚度为50 nm，所述的第二导热层（202）设置在第一导热层（201）之上，第二导热层（202）为铝箔，第二导热层（202）的厚度为500 nm，所述的第二导热层（202）表面的均方根粗糙度小于3 nm，第二导热层（202）同时作为光电探测器的反射阳极，所述的第二导热层（202）上设置有阳极修饰层（3），所述的阳极修饰层（3）上设置有光敏层（4），所述的光敏层（4）上设置有阴极修饰层（5），所述的阴极修饰层（5）上设置有透明阴极层（6），所述的透明阴极层（6）为双层复合结构，包括依次层叠的第一阴极层（601）和第二阴极层（602），所述的第一阴极层（601）为Mg，第一阴极层（601）的厚度为2 nm，所述的第二阴极层（602）设置于第一阴极层（601）之上，第二阴极层（602）为Ag，第二阴极层（602）厚度为9 nm，所述的透明阴极层（6）之上设置有光耦合层（7）。