[实用新型]一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置有效
| 申请号： | 201820095772.1 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207749149U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C21D9/00 | 分类号： | C21D9/00;C21D1/773 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，包括与包括与扩散泵相对应的加热控温装置，加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表；所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。本实用新型的目的在于提供了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，设计合理，增加了温度传感器、功率调节器、控温仪表，能够根据实际情况调整加热元件的加热功率，节省电能，降低成本，同时又避免加热温度过高，导致扩散泵油温过高挥发到真空管道中，实用性强，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 加热控温装置 扩散泵 真空热处理设备 温度传感器 加热元件 本实用新型 功率调节器 控温仪表 加热功率 扩散泵油 温度过高 真空管道 挥发 加热 | ||
【主权项】：
1.一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，与扩散泵相对应，其特征在于：包括与扩散泵相对应的加热控温装置，加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表；所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。
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