[实用新型]一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置

权利要求书

1.一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，与扩散泵相对应，其特征在于：包括与扩散泵相对应的加热控温装置，加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表；所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。

2.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，其特征在于：所述加热元件安装在扩散泵下部，设置有加热炉丝与耐火保温材料，通过电源线与功率调节器连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，其特征在于：所述功率调节器包括晶闸管模块、熔断器、散热片，通过信号线与控温仪表连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，其特征在于：所述扩散泵底部安装有盲管，位于扩散泵油液面附近；所述温度传感器安装于盲管内，通过信号线将测量温度实时反馈到控温仪表。

5.根据权利要求4所述的一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，其特征在于：所述控温仪表根据温度传感器反馈的温度测量值与设定值相比较，控制功率调节器输出功率。