[实用新型]一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置有效

专利信息
申请号: 201820095772.1 申请日: 2018-01-21
公开(公告)号: CN207749149U 公开(公告)日: 2018-08-21
发明(设计)人: 刘洋 申请(专利权)人: 青岛精诚华旗微电子设备有限公司
主分类号: C21D9/00 分类号: C21D9/00;C21D1/773
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 加热控温装置 扩散泵 真空热处理设备 温度传感器 加热元件 本实用新型 功率调节器 控温仪表 加热功率 扩散泵油 温度过高 真空管道 挥发 加热
【说明书】:

实用新型公开了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置,包括与包括与扩散泵相对应的加热控温装置,加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表;所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。本实用新型的目的在于提供了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置,设计合理,增加了温度传感器、功率调节器、控温仪表,能够根据实际情况调整加热元件的加热功率,节省电能,降低成本,同时又避免加热温度过高,导致扩散泵油温过高挥发到真空管道中,实用性强,适于推广。

技术领域

本实用新型属于真空热处理炉领域,更具体地说,涉及一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置。

背景技术

真空热处理炉设备上设置有真空机组,其中油扩散泵用于抽高真空,而扩散泵需要泵油达到一定温度方能工作。常规操作仅对扩散泵油加热而不进行温度控制,一直满功率负荷加热,消耗大量电能,且加热丝使用寿命短,设备能耗高,成本高。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置,设计合理,增加了温度传感器、功率调节器、控温仪表,能够根据实际情况调整加热元件的加热功率,节省电能,降低成本,同时又避免加热温度过高,导致扩散泵油温过高挥发到真空管道中,实用性强,适于推广。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:

一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置,与扩散泵相对应,其特征在于:包括与扩散泵相对应的加热控温装置,加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表;所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。

作为一种优化的技术方案,所述加热元件安装在扩散泵下部,设置有加热炉丝与耐火保温材料,通过电源线与功率调节器连接。

作为一种优化的技术方案,所述功率调节器包括晶闸管模块、熔断器、散热片,通过信号线与控温仪表连接。

作为一种优化的技术方案,所述扩散泵底部安装有盲管,位于扩散泵油液面附近;所述温度传感器安装于盲管内,通过信号线将测量温度实时反馈到控温仪表。

作为一种优化的技术方案,所述控温仪表根据温度传感器反馈的温度测量值与设定值相比较,控制功率调节器输出功率。

由于采用了上述技术方案,与现有技术相比,本实用新型设计合理,设计合理,增加了温度传感器、功率调节器、控温仪表,能够根据实际情况调整加热元件的加热功率,节省电能,降低成本,同时又避免加热温度过高,导致扩散泵油温过高挥发到真空管道中,实用性强,适于推广。

参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例中的结构示意图。

具体实施方式

实施例

如图1所示,一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置,与扩散泵5相对应,包括与扩散泵5相对应的加热控温装置,加热控温装置包括功率调节器4、温度传感器2、加热元件1、控温仪表3;所述加热元件1与温度传感器2安装在扩散泵上。

所述加热元件1安装在扩散泵5下部,设置有加热炉丝与耐火保温材料,通过电源线与功率调节器4连接。

所述功率调节器4包括晶闸管模块、熔断器、散热片,通过信号线与控温仪3表连接。

所述扩散泵5底部安装有盲管,位于扩散泵油液面附近;所述温度传感器2安装于盲管内,通过信号线将测量温度实时反馈到控温仪表3。

所述控温仪表3根据温度传感器2反馈的温度测量值与设定值相比较,控制功率调节器输出功率。

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