[实用新型]用于载具平整度测量的夹具有效
| 申请号： | 201820051117.6 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN207816143U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 周猛;赵冬冬 | 申请（专利权）人： | 苏州日月新半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02;G01B5/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 215026 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于载具平整度测量的夹具。所述夹具包括：本体，其具有检测通道，其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁，所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度，所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度；当所述载具沿着所述检测通道通过时，所述载具的待测面贴合于所述光滑平面；其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度，所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。因此，只要载具能穿过夹具即表示载具平整度合格，极大提高了测量效率并降低了误判率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测通道 内侧壁 夹具 载具 平整度测量 光滑平面 本实用新型 测量效率 公差 待测面 平整度 误判率 贴合 穿过 体内 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种用于载具平整度测量的夹具，所述夹具包括：本体，其具有检测通道，其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁，所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度，所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度；当所述载具沿着所述检测通道通过时，所述载具的待测面贴合于所述光滑平面；其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度，所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。
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