[实用新型]用于载具平整度测量的夹具有效

专利信息
申请号: 201820051117.6 申请日: 2018-01-12
公开(公告)号: CN207816143U 公开(公告)日: 2018-09-04
发明(设计)人: 周猛;赵冬冬 申请(专利权)人: 苏州日月新半导体有限公司
主分类号: G01B5/02 分类号: G01B5/02;G01B5/28
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 林斯凯
地址: 215026 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 检测通道 内侧壁 夹具 载具 平整度测量 光滑平面 本实用新型 测量效率 公差 待测面 平整度 误判率 贴合 穿过 体内 侧面
【权利要求书】:

1.一种用于载具平整度测量的夹具,所述夹具包括:

本体,其具有检测通道,其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁,所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度,所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度;当所述载具沿着所述检测通道通过时,所述载具的待测面贴合于所述光滑平面;

其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度,所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。

2.如权利要求1所述的夹具,其中所述检测通道的顶面具有中间开口,所述中间开口使所述检测通道形成第一部分顶面和第二部分顶面,所述本体具有构成所述第一部分顶面的第一配合部和构成所述第二部分顶面的第二配合部;所述第一配合部的下表面与所述检测通道底面的距离即为所述第一内侧壁的高度,所述第二配合部的下表面与所述检测通道底面的距离即为所述第二内侧壁的高度。

3.如权利要求1所述的夹具,其中所述本体还进一步具有顶面配合部,所述顶面配合部的下表面构成所述检测通道的顶面并与所述检测通道的底面相对;所述顶面配合部的下表面与所述检测通道的底面的距离即为所述第一内侧壁的高度或者所述第二内侧壁的高度。

4.如权利要求1-3中任一项所述的夹具,所述光滑平面内设有凹槽,当所述载具沿着所述检测通道通过时,所述凹槽可容纳并使载具上的定位销通过。

5.如权利要求1-3中任一项所述的夹具,其中所述本体进一步具有位于所述检测通道的端口处的内凹开口。

6.如权利要求5所述的夹具,其中所述内凹开口为弧形内凹开口。

7.如权利要求1-3中任一项所述的夹具,其中所述夹具的材质为不锈钢。

8.如权利要求1-3中任一项所述的夹具,其中所述本体进一步包括高度调节构件,所述高度调节构件用于调整所述检测通道的顶面和底面的距离以调节所述检测通道的高度。

9.如权利要求8所述的夹具,所述高度调节构件为螺栓。

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