[实用新型]新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板有效
| 申请号： | 201820025241.5 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN207738890U | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘立中;巢芳家;熊涛涛;李子龙 | 申请（专利权）人： | 内蒙古上航新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/04 | 分类号： | C30B28/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 014100 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板，其包括石墨底板，石墨底板顶面设有限位凹槽，限位凹槽内设有导热板，导热板下方的石墨底板上均布有散热通孔。本实用新型的优点在于，通过在石墨底板顶面的限位凹槽内设置导热板，加快了与导热板直接接触的石英坩埚底部的导热速率，降低了晶体生长过程中的热应力，降低了晶锭头部位错值，延长少子寿命，使晶体尾部低少子长度降低2‑3mm，晶体转换效率提高0.05％‑0.1％；限位凹槽可以确保导热板在铸锭过程中始终位于石英坩埚底部，避免导热板位置发生变化；导热板下方的石墨底板上均布有散热通孔，传递至导热板上的热量可通过散热通孔快速传递至铸锭炉下方热交换区，进一步加快了石英坩埚底部的导热速率。 | ||
| 搜索关键词： | 导热板 石墨底板 散热通孔 石英坩埚 限位凹槽 多晶硅铸锭炉 导热 底板 本实用新型 复合石墨 均布 晶体生长过程 晶锭头部 晶体尾部 晶体转换 热交换区 少子寿命 铸锭过程 热应力 铸锭炉 传递 顶面 少子 位错 | ||
【主权项】：
1.新型多晶硅铸锭炉用复合石墨底板，其包括石墨底板，其特征在于，所述石墨底板顶面设有限位凹槽，所述限位凹槽内设有导热板，所述导热板下方的所述石墨底板上均布有散热通孔。
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