[发明专利]薄膜压力传感器校准装置在审
| 申请号： | 201811649038.6 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN109470404A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 许启铿;丁永刚;李学森;刘强;揣君;陈家豪;武书增 | 申请（专利权）人： | 河南工业大学 |
| 主分类号： | G01L25/00 | 分类号： | G01L25/00 |
| 代理公司： | 郑州华隆知识产权代理事务所(普通合伙) 41144 | 代理人： | 徐小磊 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜压力传感器校准装置，包括装置支架，装置支架包括上层支架和下层支架，下层支架上设置有用于相应薄膜压力传感器放置的放置平面，上层支架上分布有多个校准单元，各校准单元均包括竖向布置的由刚性材料制成的气管，每个气管的下端均设有分别用于对薄膜压力传感器上的对应电极点施压的气囊，气囊由柔性材料制成，气囊与所述气管相通，气管的上端设有内孔与所述气管相通的安装盒，安装盒上设置有压力传感器，各校准单元均具有充气口。本发明解决了现有技术中的刚性校准装置容易损伤薄膜压力传感器的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜压力传感器 气管 校准单元 校准装置 气囊 上层支架 下层支架 装置支架 安装盒 相通 放置平面 刚性材料 柔性材料 竖向布置 上端 充气口 传感器 电极点 有压力 内孔 施压 下端 损伤 | ||
【主权项】：
1.薄膜压力传感器校准装置，包括装置支架，其特征在于：装置支架包括上层支架和下层支架，下层支架上设置有用于相应薄膜压力传感器放置的放置平面，上层支架上分布有多个校准单元，各校准单元均包括竖向布置的由刚性材料制成的气管，每个气管的下端均设有分别用于对薄膜压力传感器上的对应电极点施压的气囊，气囊由柔性材料制成，气囊与所述气管相通，气管的上端设有内孔与所述气管相通的安装盒，安装盒上设置有检测安装盒内气压的压力传感器，各校准单元均具有充气口。
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