[发明专利]波像差测量装置及其方法有效
| 申请号： | 201811642646.4 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111381449B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈艳;马明英;白玉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种波像差测量装置及其方法，用于测量待测投影物镜模块的波像差，包括设置在所述待测投影物镜模块两端的物面模块和像面模块；所述物面模块和所述像面模块均包括光栅标记及孔标记，利用孔标记透过的光束所获得的剂量校正光斑图对波像差测试图进行剂量校正以获得准确的波像差，保证了参考光和测试光的光路一致性以及检测模块对测试光和参考光探测的一致性，同时可通过调整聚光模块的位置改变剂量校正光斑图中光斑的尺寸，降低对波像差测试图的影响，提高了波像差测量的效率和精度以及测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 波像差 测量 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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