[发明专利]一种微纳结构固化方法

摘要

本发明提供一种微纳结构固化方法，所述方法包括，将经显影后具有微纳图形结构的晶圆放置于去离子水的溶液中，用去离子水置换出晶圆上的显影液；将置换完成的晶圆放置在微波干燥腔室内的载片台上，开启真空吸附装置以便将晶圆固定在载片台上；启动微波功率源，通过微波耦合匹配器将微波功率完全施加至微波干燥腔室内，对晶圆上的微纳图形结构进行微波干燥固化；微波功率源开启一段时间后，启动与微波干燥腔室连接的真空泵组，将腔室内的水汽排除至腔室外，直至固化完毕，取出晶圆。本发明微纳固化方法能够有效彻底地清除晶圆上的水分，进而干燥固化微纳结构，并且固化过程不会导致这些微纳结构塌陷。