[发明专利]一种自动清洁prober腔体的方法及装置在审
| 申请号： | 201811623167.8 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109622514A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 许文文;牛勇;熊忠应;凌俭波;蔡漪文;崔孝叶 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动清洁prober腔体的方法及装置，该方法为在探针台空腔中设置清洁装置，通过该清洁装置产生的负压将所述探针台空腔中的尘屑进行吸附清理；该清洁装置包括喷嘴、静电发生部件、旋转气嘴以及真空发生器，所述静电发生部件、旋转气嘴以及真空发生器均设置于所述喷嘴中，所述喷嘴固定于所述探针台空腔的内壁，且该喷嘴连通的管道延伸至所述探针台空腔外部,所述喷嘴与所述探针台空腔内壁通过角度调节器连接。本发明通过在探针台空腔内加装清洁装置，清洁过程不需打开腔体，在机台空闲时即可触发并自动运行，减少了机时的浪费；另外该清洁装置可产生正负离子随压缩气流作用在腔体结构表面，中和静电，有效提升了清洁的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 探针台 清洁装置 喷嘴 空腔 腔体 真空发生器 静电发生 旋转气嘴 自动清洁 机台 角度调节器 管道延伸 空腔内壁 空腔外部 腔体结构 清洁过程 压缩气流 正负离子 中和静电 自动运行 尘屑 触发 负压 加装 内壁 吸附 连通 空闲 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种自动清洁prober台腔体的方法，其特征在于：在探针台空腔中设置清洁装置，通过该清洁装置产生的负压将所述探针台空腔中的尘屑进行吸附清理。
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