[发明专利]电池材料镀膜控制方法及计算机可读存储介质在审
申请号: | 201811620343.2 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN109628888A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 李致朋;区定容 | 申请(专利权)人: | 深圳市致远动力科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/28 | 分类号: | C23C14/28;C23C14/30;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/08;H01M4/1391 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种电池材料镀膜控制方法和一种计算机可读存储介质,其中,该控制方法包括:a:开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第一电池材料;b:在所述挡板由初始位置沿第一方向位移至预设位置的过程中,关闭所述靶材轰击装置;c:在所述挡板位移至所述预设位置时,开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第二电池材料;d:控制所述挡板沿第一方向或第二方向平移L1。本发明的技术方案可以把两种电池材料有效的沉积在一起,得到两种材料从低到高不同成分配比的变化,只需要一次制备该电池材料中间体,即可从该电池材料中间体中找到两种材料的较佳配比,也即符合条件的电池材料中间体的制备效率大大提升。 | ||
搜索关键词: | 电池材料 靶材 轰击 挡板 计算机可读存储介质 镀膜控制 预设位置 置放装置 制备 平移 成分配比 方向位移 符合条件 配比 沉积 | ||
【主权项】:
1.一种电池材料镀膜控制方法,用以控制电池材料镀膜设备镀膜,其特征在于,所述电池材料镀膜设备包括壳体、靶材轰击装置、靶材置放装置、样品台和设置于所述样品台与所述靶材置放装置之间的挡板,所述靶材置放装置、样品台和所述挡板设置于所述壳体内,所述控制方法包括如下步骤:a:开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第一电池材料;b:在所述挡板由初始位置沿第一方向位移至预设位置的过程中,关闭所述靶材轰击装置;c:在所述挡板位移至所述预设位置时,开启所述靶材轰击装置轰击靶材置放装置上的第二电池材料;d:控制所述挡板沿第一方向或第二方向平移L1;其中,在关闭所述靶材轰击装置时,所述挡板沿第一方向位移量为L1,所述挡板在所述第一方向上的宽度为L0,L1≤L0;所述挡板由所述初始位置移动至所述预设位置时的位移量为S;在步骤d中,当所述挡板沿第一方向平移L1时,S=L0;当所述挡板沿第二方向平移L1时,S=L0+L1,所述第一方向与所述第二方向相反。
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