[发明专利]一种有机薄膜晶体管及其制备方法在审
申请号: | 201811619204.8 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN109698277A | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 卢珂鑫;张燕红;李伟伟;谷文翠;刘兆平 | 申请(专利权)人: | 宁波石墨烯创新中心有限公司 |
主分类号: | H01L51/10 | 分类号: | H01L51/10;H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 孙海杰 |
地址: | 315000 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种有机薄膜晶体管及其制备方法,属于有机电子和光电子技术领域。有机薄膜晶体管,包括基板、含有源极和漏极的源漏极层、有机半导体层、栅极绝缘层和栅极层。基板的一表面为源漏极层,源漏极层的背离基板的表面为有机半导体层,有机半导体层的背离源漏极层的表面为栅极绝缘层,栅极绝缘层的背离有机半导体层的表面为栅极层。其中,源漏极层由导电墨水制成。有机薄膜晶体管的制备方法,包括如下步骤:在基板的一表面涂布导电墨水,固化导电墨水形成第一电极层,对第一电极层进行曝光、显影和热处理得到源漏极层。此制备方法制备得到的有机薄膜晶体管不需要设置平坦层,且不需要设置光阻层,可以直接进行图案化。 | ||
搜索关键词: | 源漏极 有机薄膜晶体管 有机半导体层 制备 基板 栅极绝缘层 导电墨水 第一电极 背离 栅极层 光电子技术领域 热处理 表面涂布 有机电子 光阻层 平坦层 图案化 漏极 显影 源极 固化 曝光 | ||
【主权项】:
1.一种有机薄膜晶体管,其特征在于,包括基板、含有源极和漏极的源漏极层、有机半导体层、栅极绝缘层和栅极层;所述基板的一表面为所述源漏极层,所述源漏极层的背离所述基板的表面为有机半导体层,所述有机半导体层的背离所述源漏极层的表面为栅极绝缘层,所述栅极绝缘层的背离所述有机半导体层的表面为所述栅极层;其中,所述源漏极层由导电墨水制成。
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