[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201811610184.8 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109440068A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 夏禹;张正川;王鹏;王淼 | 申请（专利权）人： | 厦门天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 361101 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供蒸镀装置以及蒸镀设备，蒸镀装置包括：用于放置蒸镀材料的多个第一容器；用于混合蒸镀材料的第二容器；用于加热蒸镀材料的加热器；第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口，第一底板、第一侧壁封闭；第二容器包括第二底板，第二底板包括多个开孔，第一开口与开孔对接；加热器包括加热丝，加热丝覆盖第一底板、第一侧壁、第二底板。在本发明中，加热器与蒸镀材料之间的热传导较多，加热器与蒸镀材料之间的热辐射较少，加热器的热量的损失率较低，加热器的热量的利用率较高；并且，蒸镀温度较低，避免蒸镀温度较高导致蒸镀材料化学分解，确保蒸镀材料比较纯净地沉积于显示基板上；另外，蒸镀装置中的压强较小，有助于降低蒸镀温度。 | ||
| 搜索关键词： | 底板 加热器 蒸镀材料 蒸镀装置 第一侧壁 蒸镀 第二容器 第一容器 蒸镀设备 加热丝 开孔 开口 损失率 压强 加热蒸镀材料 化学分解 显示基板 热传导 热辐射 沉积 封闭 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括，用于放置蒸镀材料的多个第一容器；用于混合所述蒸镀材料的第二容器；及用于加热所述蒸镀材料的加热器；其中，所述第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口，所述第一底板、所述第一侧壁封闭；所述第二容器包括第二底板，所述第二底板设有多个开孔，所述第一开口与所述开孔对接；所述加热器包括多条加热丝，多条所述加热丝覆盖所述第一底板、所述第一侧壁。
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