[发明专利]一种超硬碳基薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201811607737.4 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109402577B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李洪;林松盛;石倩;代明江;张程;唐鹏;韦春贝;郭朝乾;苏一凡 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种超硬碳基薄膜及其制备方法，涉及工具领域。该超硬碳基薄膜的制备方法，主要用于切削刀具，其主要包括在离子辅助和偏压作用下对基材进行清洗，在闭合磁场条件下于基材表面沉积一层Cr过渡层，基于电弧离子镀技术在高偏压下作用下在Cr层表面形成Cr‑C结合层，通过偏压调控形成具有硬度梯度的C过渡层，通过闭合磁场提高电弧C离子碰撞几率和限制C离子外溢，提高基材周围C离子能量阈值，从而提升C基薄膜中SP |
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| 搜索关键词： | 一种 超硬碳基 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超硬碳基薄膜的制备方法，用于切削刀具，其特征在于，所述超硬碳基薄膜的制备方法包括依次进行的：清洗基材及工件架；制备过渡Cr层；制备过渡Cr‑C结合层；制备过渡C层；制备所述超硬碳基薄膜。
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