[发明专利]一种多功能真空泵测试罩有效
申请号: | 201811600694.7 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN111365219B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 刘坤;张朔熙;王光玉;孔祥玲;刘志东;迟小宇;谢元华;郝明;巴德纯 | 申请(专利权)人: | 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
主分类号: | F04B51/00 | 分类号: | F04B51/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 汪海 |
地址: | 110169 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及真空泵测试领域,具体地说是一种多功能真空泵测试罩,包括外壳、水冷管、加热丝和反射罩,所述外壳外侧设有水冷管,所述外壳内部设有反射罩和加热丝,所述外壳一端设有可打开的第一密封盖,另一端闭合且设有待测泵口;所述外壳上设有进气口、测温口、测压口、PIV观测口和多个抽气口,其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口和与粗抽泵连接的粗抽口。本发明集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身,能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求,同时其测试结果的稳定性和准确性也得到提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 多功能 真空泵 测试 | ||
【主权项】:
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