[发明专利]一种电子级盐酸纯化系统在审

专利信息
申请号: 201811599987.8 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN109534293A 公开(公告)日: 2019-03-29
发明(设计)人: 坎勇;朱永刚;顾玲燕;丁磊;周锡军;浦陈龙 申请(专利权)人: 江阴江化微电子材料股份有限公司
主分类号: C01B7/07 分类号: C01B7/07
代理公司: 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 孙霞
地址: 214400 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种电子级盐酸纯化系统,包括工业级盐酸进料管道、超纯水进水管道、盐酸成品出料管道、再沸器、精馏塔、吸收塔、吸收罐以及循环泵;工业盐酸进料管道经再沸器与精馏塔塔釜相连通,精馏塔塔体出气口与吸收塔相连通,吸收塔出液口和超纯水进水管道均与吸收罐相连通,吸收罐的出液口连接盐酸成品出料管道和循环泵,循环泵出液口与吸收塔喷淋组连通;精馏塔塔体、吸收塔以及其间的连接管道通体为PVDF,循环泵、吸收罐以及与其连接的内流盐酸的管道整体或内衬为高纯氟塑料。本发明盐酸电子级纯化系统不会对盐酸成品产生二次污染,纯度高,系统稳定性高,盐酸成品浓度控制简单,环保、对设备腐蚀小,适合大规模盐酸纯化。
搜索关键词: 盐酸 吸收塔 吸收罐 纯化系统 循环泵 电子级盐酸 出料管道 进料管道 进水管道 精馏塔塔 超纯水 再沸器 吸收塔出液口 循环泵出液口 工业级盐酸 精馏塔塔釜 系统稳定性 二次污染 工业盐酸 连接管道 浓度控制 出气口 出液口 电子级 对设备 氟塑料 精馏塔 高纯 内衬 喷淋 通体 连通 腐蚀 环保
【主权项】:
1.一种电子级盐酸纯化系统,其特征在于,所述系统包括工业级盐酸进料管道、超纯水进水管道、盐酸成品出料管道、再沸器、精馏塔、吸收塔、吸收罐以及循环泵,所述精馏塔包括塔釜和塔体;所述工业盐酸进料管道与所述再沸器的进液口相连通,所述再沸器的出气口与所述精馏塔的塔釜相连通,所述塔釜底部的出液口与所述再沸器的进液口相连通,所述塔体顶部的出气口经管道与所述吸收塔的进气口相连通,所述吸收塔的出液口经管道与所述吸收罐的进液口相连通,所述吸收罐还与所述超纯水进水管道相连通,吸收罐的出液口分别连接所述盐酸成品出料管道以及所述循环泵的进液口,所述循环泵的出液口经管道与所述吸收塔的喷淋组的进液口相连通;其中,所述精馏塔的塔体、所述吸收塔以及其间的管道均通体为PVDF材质,所述吸收罐、所述循环泵、以及与其连接的内流盐酸的管道整体或内衬为高纯氟塑料材质。
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