[发明专利]一种用于光学芯片的测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201811597651.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109683082B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 薛海韵 | 申请（专利权）人： | 上海先方半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01M11/00;G01N21/84;G02B21/00 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 200000 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光学芯片的测试系统，包括：显微镜，所述显微镜具有物镜；芯片夹具，所述芯片夹具位于所述物镜的下方；光纤耦合块，所述光纤耦合块位于所述芯片夹具的下方；位置调节结构，其中所述光纤耦合块固定在所述位置调节结构上，通过调整所述位置调节结构调整所述光纤耦合块的位置和角度。通过本发明公开的实施例，可以实现光芯片光栅区同时完成多通道光学耦合，可以实现接收端和发送端单独测试，芯片测试方便更换，多通道光纤可以循环利用，通道一次组装成型，可以实现批量组装，工艺可重复性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 芯片 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光学芯片的测试系统，包括：显微镜，所述显微镜具有物镜；芯片夹具，所述芯片夹具位于所述物镜的下方；光纤耦合块，所述光纤耦合块位于所述芯片夹具的下方；位置调节结构，其中所述光纤耦合块固定在所述位置调节结构上，通过调整所述位置调节结构调整所述光纤耦合块的位置和角度。
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