[发明专利]线性蒸镀设备及其蒸镀线源控制方法在审
| 申请号： | 201811588815.0 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109468608A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 武启飞;黄稳;廖良生;高永喜;蔡冬伟 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种线性蒸镀设备及其蒸镀线源控制方法，包括晶振探测系统及设置于晶振探测系统探测端的线源组件，晶振探测系统包括支架、至少两个晶振探头组件及驱动机构，线源组件包括线源主体及设置于线源主体内的加热组件，线源主体上设置有开设有探测口的挡板，所述加热组件至少设置有两组，每组加热组件上方对应设置有至少一个喷嘴，加热组件及探测口的数量均与晶振探头组件数量相同。通过该蒸镀设备的晶振探测系统更好的控制线源蒸镀速率，从而保证了线源的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 线源 晶振 加热组件 探测系统 蒸镀设备 蒸镀 探头组件 探测口 驱动机构 组件包括 挡板 喷嘴 均匀性 控制线 两组 支架 探测 保证 | ||
【主权项】：
1.线性蒸镀设备，其特征在于：包括晶振探测系统及设置于晶振探测系统探测端的线源组件，所述晶振探测系统包括支架、固定设置于支架上的至少两个晶振探头组件、及用于驱动所述支架移动的驱动机构，所述线源组件包括线源主体及设置于线源主体内的加热组件，所述线源主体上设置有开设有探测口的挡板，所述加热组件至少设置有两组，每组所述加热组件上方对应设置有至少一个喷嘴，所述晶振探头组件及探测口的数量相同，且不小于所述加热组件的数量。
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