[发明专利]一种适用于超大规模原子层沉积设备的载具在审
| 申请号： | 201811588410.7 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109371383A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 董仲 | 申请（专利权）人： | 南京爱通智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/455 |
| 代理公司： | 南京先科专利代理事务所(普通合伙) 32285 | 代理人： | 孙甫臣 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种适用于超大规模原子层沉积设备的载具，包括两底板和两侧板围成的载具框架，晶圆放置在两侧板之间，两侧板的相对侧上分别设置有若干齿槽，两侧板上的齿槽一一对应，且相对应的两齿位于同一平面；两侧板上相对应的两齿槽承载两片晶圆，两片晶圆的待镀膜一侧侧向外，另一侧相互贴合。本发明的载具结构简单，减少反应物和非ALD镀膜处理面的接触，进而减少绕镀，提高光伏电池的转化效率和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 两侧板 齿槽 原子层沉积设备 片晶 载具 侧向 底板 镀膜处理 光伏电池 使用寿命 载具结构 载具框架 转化效率 反应物 镀膜 晶圆 贴合 承载 | ||
【主权项】：
1.一种适用于超大规模原子层沉积设备的载具，其特征在于，包括两底板和两侧板围成的载具框架，晶圆放置在两侧板之间，两侧板的相对侧上分别设置有若干齿槽，两侧板上的齿槽一一对应，且相对应的两齿位于同一平面；两侧板上相对应的两齿槽承载两片晶圆，两片晶圆的待镀膜一侧侧向外，另一侧相互贴合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京爱通智能科技有限公司，未经南京爱通智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811588410.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种化学气相沉积法装置
- 下一篇：等离子体淀积炉的反应室结构
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
