[发明专利]检测设备和检测方法有效
| 申请号： | 201811581005.2 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111351448B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;李青格乐;古凯男 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张海强 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种检测设备和检测方法，涉及检测技术领域。检测设备包括：运动盘，包括至少一个重复单元，所述重复单元包括相互分离的多个孔，所述运动盘用于带动所述多个孔移动；存在一条直线，所述运动盘带动所述多个孔在不同时刻下移动至所述直线上时，所述多个孔相互贯通；物镜，被配置为接收探测光入射到待测物体的表面后由所述待测物体的表面返回的信号光；汇聚元件，被配置为将来自所述物镜的信号光聚焦在所述直线处；和探测装置，被配置为接收所述多个孔中的每个孔移动至所述直线上时透过该孔的信号光。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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