[发明专利]全尺寸掩模组件及其制造方法在审
| 申请号： | 201811561908.4 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110551972A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 金正镐 | 申请（专利权）人： | KPS株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道华*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种全尺寸掩模组件。根据本发明的一个实施例的全尺寸掩模组件能够包括：框架，其形成有开口部且具有包围上述开口部的支撑部；结构用辅助掩模，其由上述支撑部所支撑，且具有形成格子形态的多个栅条以形成多个结构用辅助掩模开口部；以及多个单元单位掩模，其由上述结构用辅助掩模所支撑且具备使沉积物质通过的沉积图案部。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助掩模 开口部 支撑 掩模组件 沉积图案 单元单位 格子形态 掩模 栅条 沉积 包围 | ||
【主权项】：
1.一种全尺寸掩模组件，其特征在于，包括：/n框架，其形成有框架开口部且具有包围上述框架开口部的支撑部；/n结构用辅助掩模，其由上述支撑部所支撑，且具有形成格子形态的多个栅条以形成多个结构用辅助掩模开口部；以及，/n多个单元单位掩模，其由上述结构用辅助掩模所支撑且具备使沉积物质通过的沉积图案部，/n各个上述单元单位掩模单独地与上述结构用辅助掩模配合。/n
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