[发明专利]大数值孔径显微物镜波像差测量系统和测量方法

摘要

本发明公开了一种大数值孔径显微物镜波像差测量系统和测量方法，该系统包括激光器、准直扩束系统、中性滤光片、旋转毛玻璃、第一分光镜、第二分光镜、波前传感器、聚光镜、光阑、光电倍增管、校准平面镜及盖玻片。本发明公开了一种非相干式测量显微物镜波像差的方法，本发明可适用于任意大数值孔径(浸油/非浸油)显微物镜波像差测量；利用入射平行光束口径大于显微物镜出瞳，能保证任意大数值孔径显微物镜波像差测量；本发明采用非相干测量模式，可减少杂散条纹的影响，通过精确对焦功能，确保测量波像差无离焦因素影响，同时利用盖玻片自身反射，测量的波像差与显微物镜设计及真实使用状态一致，更能实现显微物镜的精准测量。

主权项

1.一种大数值孔径显微物镜波像差测量系统，其特征在于，包括激光器、准直扩束系统、中性滤光片、旋转毛玻璃、第一分光镜、第二分光镜、波前传感器、聚光镜、光阑、光电倍增管、校准平面镜及下表面镀有全反射膜的盖玻片；其中，该系统对显微物镜进行测量前，先不装显微物镜和所述盖玻片，将所述校准平面镜装入系统；所述激光器发出的激光依次经该准直扩束系统、中性滤光片、旋转毛玻璃后由该第一分光镜反射至该校准平面镜；所述校准平面镜的反射光再透射所述第一分光镜，透射所述第一分光镜的光中，一部分透射所述第二分光镜后到达所述波前传感器，另一部分经所述第二分光镜反射后再依次经所述聚光镜、光阑后到达所述光电倍增管；其中，该系统对显微物镜进行测量时，取下所述校准平面镜，将待测的显微物镜和盖玻片装入系统；所述激光器发出的激光依次经该准直扩束系统、中性滤光片、旋转毛玻璃后由该第一分光镜反射，经过所述显微物镜后到达所述盖玻片的下表面；所述盖玻片的反射光经所述显微物镜后再透射所述第一分光镜，透射所述第一分光镜的光中，一部分透射所述第二分光镜后到达所述波前传感器，另一部分经所述第二分光镜反射后再依次经所述聚光镜、光阑后到达所述光电倍增管。