[发明专利]基板旋转装置、基板旋转方法及电子装置的制造方法有效
| 申请号： | 201811558898.9 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110578117B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 高桥悌二 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/04;H01L21/687;H01L21/683;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板旋转装置、基板旋转方法及电子装置的制造方法，基板旋转装置包括：固定机构，用于将被搬入到基板旋转装置内的基板固定；旋转机构，与所述固定机构连结，通过使所述固定机构旋转而使所述基板旋转；以及支承机构，从重力方向下方支承所述基板，所述支承机构与所述旋转机构连结，在所述旋转机构旋转时与所述固定机构一起旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 装置 方法 电子 制造 | ||
【主权项】：
1.一种基板旋转装置，其特征在于，/n该基板旋转装置包括：/n固定机构，用于将被搬入到所述基板旋转装置内的基板固定；/n旋转机构，与所述固定机构连结，通过使所述固定机构旋转而使所述基板旋转；以及/n支承机构，从重力方向下方支承所述基板，/n所述支承机构与所述旋转机构连结，在所述旋转机构旋转时与所述固定机构一起旋转。/n
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