[发明专利]一种用于真空反应设备的破真空装置在审
| 申请号： | 201811556408.1 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109686641A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘京京;林大野;何进;李春来;胡国庆 | 申请（专利权）人： | 深港产学研基地;北京大学深圳研究院 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于真空反应设备技术领域，具体涉及一种用于真空反应设备的破真空装置，所述装置包括第一端面和第二端面，所述第一端面和所述第二端面上均设有若干气孔，所述第一端面上的气孔和所述第二端面上的气孔均相通，破真空时，所述装置在真空反应设备腔体内，所述第一端面与所述进气孔所在面相连，所述第一端面上的气孔与所述进气孔相通，所述第二端面上的气孔总面积大于所述第一端面上的气孔总面积。本装置可以有效缩短破真空的时间，提高产品制造效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空反应 破真空装置 进气孔 破真空 相通 设备技术领域 产品制造 设备腔 体内 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空反应设备的破真空装置，其特征在于，所述装置包括第一端面和第二端面，所述第一端面和所述第二端面上均设有若干气孔，所述第一端面上的气孔和所述第二端面上的气孔均相通，破真空时，所述装置在真空反应设备腔体内，所述第一端面与所述进气孔所在面相连，所述第一端面上的气孔与所述进气孔相通，所述第二端面上的气孔总面积大于所述第一端面上的气孔总面积。
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