[发明专利]具有改进的支撑结构的滤波器单元、滤波器和电子设备有效
| 申请号： | 201811551330.4 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111342810B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/205;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种滤波器单元，包括：功能基底，设置有空腔；和功能器件，设置于所述功能基底且包括多个体声波谐振器，所述多个谐振器共用压电层，每个谐振器具有设置于共用压电层的对应部分的两侧的顶电极和底电极，所述顶电极、底电极和共用压电层形成三明治结构，且每个谐振器构成子三明治结构，其中：所述子三明治结构与其下方的空腔型声学镜形成对应谐振器的有效区域，所述空腔型声学镜为所述空腔的一部分；所述三明治结构由所述空腔支撑且至少两个谐振器的空腔型声学镜彼此相通。本发明也涉及一种滤波器以及具有该滤波器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 支撑 结构 滤波器 单元 电子设备 | ||
【主权项】：
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