[发明专利]具有改进的支撑结构的滤波器单元、滤波器和电子设备

权利要求书

1.一种滤波器单元，包括：

功能基底，设置有空腔；和

功能器件，设置于所述功能基底且包括多个体声波谐振器，所述多个谐振器共用压电层，每个谐振器具有设置于共用压电层的对应部分的两侧的顶电极和底电极，所述顶电极、底电极和共用压电层形成三明治结构，且每个谐振器构成子三明治结构，

其中：

所述子三明治结构与其下方的空腔型声学镜形成对应谐振器的有效区域，所述空腔型声学镜为所述空腔的一部分；

所述三明治结构由所述空腔支撑且至少两个谐振器的空腔型声学镜彼此相通。

2.根据权利要求1所述的滤波器单元，其中：

所述三明治结构仅由所述空腔的边缘支撑。

3.根据权利要求2所述的滤波器单元，其中：

所述空腔为大致矩形的形状；

所述三明治结构被所述空腔的两个相对的边缘支撑。

4.根据权利要求3所述的滤波器单元，其中：

所述两个相对的边缘同时支撑最外围的谐振器的底电极和压电层。

5.根据权利要求3或4所述的滤波器单元，其中：

所述功能器件具有用于谐振器的电极引脚；

所述压电层位于所述两个相对的边缘之间且与其间隔开；且

所述三明治结构通过分别设置于所述两个相对的边缘处的电极引脚被支撑在所述两个相对的边缘上。

6.根据权利要求3所述的滤波器单元，其中：

所述压电层的两侧分别支撑在所述两个相对的边缘上。

7.根据权利要求2所述的滤波器单元，其中：

所述三明治结构被所述空腔的相对的边缘支撑；且

在所述滤波器单元的俯视图中，所述三明治结构的至少一部分边缘与所述空腔的边缘之间存在空隙。

8.根据权利要求1所述的滤波器单元，其中：

所述三明治结构仅由设置于空腔中的多个支撑突起支撑。

9.根据权利要求8所述的滤波器单元，其中：

所述多个支撑突起包括与空腔的边缘间隔开的至少一个岛状支撑突起。

10.根据权利要求9所述的滤波器单元，其中：

所述谐振器为多边形谐振器；且

所述岛状支撑突起用于支撑所述多边形谐振器的顶点部分。

11.根据权利要求10所述的滤波器单元，其中：

每一个岛状支撑突起用于同时支撑多个谐振器的顶点部分。

12.根据权利要求9所述的滤波器单元，其中：

所述谐振器为多边形谐振器；且

所述岛状支撑突起用于支撑谐振器的边部分。

13.根据权利要求12所述的滤波器单元，其中：

每一个岛状支撑突起用于同时多个支撑谐振器的边部分。

14.根据权利要求8-13中任一项所述的滤波器单元，其中：

所述多个支撑突起包括自空腔的边缘向空腔径向向内的至少一个半岛状支撑突起。

15.根据权利要求1所述的滤波器单元，其中：

所述三明治结构仅由连接在空腔的边缘之间的支撑条肋支撑。

16.根据权利要求1所述的滤波器单元，其中：

所述三明治结构由所述空腔的边缘、设置于空腔中的至少一个支撑突起、谐振器的电极引脚以及连接在空腔的边缘之间的支撑条肋中的至少两种结构支撑。