[发明专利]用于多等离子处理腔的射频系统在审
| 申请号： | 201811547966.1 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109659217A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 林英浩;周仁 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 陈福昌 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多等离子处理腔的射频系统，包括：复数个匹配调节单元，其与一匹配网络电耦接以产生适用于等离子工艺的射频讯号。该复数个匹配调节单元的每一者包含一第一可变电子组件及一第二可变电子组件，其中该第一可变电子组件具有连接匹配网络的一输出端及连接至一处理腔中一电极的一输入端，该第二可变电子组件的一端电连接至该第一可变电子组件的输出端，另一端连接至腔体、匹配网络或接地。 | ||
| 搜索关键词： | 电子组件 可变 匹配网络 等离子处理腔 射频系统 输出端 复数 匹配 等离子工艺 射频讯号 一端连接 接地 处理腔 电连接 输入端 电极 电耦 腔体 | ||
【主权项】：
1.用于多等离子处理腔的射频系统，包括：一射频电源，产生一或多个射频讯号；一匹配网络，与该射频电源电耦接以接收并处理所述一或多个射频讯号；及复数个匹配调节单元，与该匹配网络电耦接以接收并调节经处理的一或多个射频讯号，其特征在于：该复数个匹配调节单元的每一者包含一第一可变电子组件及一第二可变电子组件，其中该第一可变电子组件连接该匹配网络的一输出端及连接至一处理腔中一电极的一输入端，该第二可变电子组件的一端电连接至该第一可变电子组件。
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