[发明专利]蒸镀设备与蒸镀制作工艺在审
| 申请号： | 201811547766.6 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111334773A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 许祐霖;黄国兴;林建宏;宋兆峰 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀设备与蒸镀制作工艺。所述蒸镀设备包括卷对卷基板传送装置、蒸镀装置以及掩模装置。所述卷对卷基板传送装置用以传送基板。所述蒸镀装置与所述卷对卷基板传送装置相对设置。所述掩模装置设置于所述卷对卷基板传送装置与所述蒸镀装置之间，且位于所述蒸镀装置上方，其中所述掩模装置具有多个可调式开孔，所述可调式开孔经调整以控制其在所述蒸镀装置至所述基板的方向上投影至所述基板的投影面积。所述蒸镀装置产生的蒸镀气体穿过所述可调式开孔而到达所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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